巴克豪森噪音渦流顯微鏡 BEMI

形勢背景

   材料特性及其局部分布的認知對于金屬材料或分層系統(tǒng)的開發(fā)和優(yōu)化非常重要。多參數(shù)微磁測試方法BEMI的應(yīng)用提供了表征材料特性或具有高空間分辨率的多層系統(tǒng)分析的能力。

BEMI (巴克豪森噪音和渦流顯微鏡)的組件

   ■ 基于3MA技術(shù)的檢測主機（3MA：微磁多參數(shù)微結(jié)構(gòu)和應(yīng)力分析）：一種功能強大的測試設(shè)備，用于材料和分層系統(tǒng)的微磁特性表征；
   ■ 具有高空間分辨率的特殊探頭：具有約20μm空間分辨率的電磁特性；
   ■ 掃描機：在預(yù)定的X和Y位置步進掃描樣品表面；
   ■ 計算機：控制掃描儀，數(shù)據(jù)采集，結(jié)果可視化和評估；

特殊技術(shù)與原理

   基于3MA技術(shù)的檢測主體設(shè)備，結(jié)合了四種微磁方法：切向磁場強度的諧波分析，巴克豪森噪聲信號分析，增量磁導率分析，多頻渦流阻抗分析。
   這些方法在數(shù)個測試頻率上的綜合應(yīng)用，提供了四十多種微磁特性，這些特性與材料結(jié)構(gòu)和分層系統(tǒng)的特性相關(guān)。多參數(shù)方法中微磁特性的組合使得能夠分離交叉重疊的影響，例如應(yīng)力和涂鍍層厚度。這些微磁特性分布的圖像提供了有關(guān)材料均勻性的主要信息。此外，多個樣品特性的比較允許對材料或分層的特性，進行差異定性評估。

   歸根結(jié)底，在使用具有明確特征的樣品進行一次校準之后，BEMI可以定量確定材料和分層的性能，并將其分布顯示為圖像，而且可以同時確定幾個目標值。

應(yīng)用領(lǐng)域

   ? 對包含至少一種金屬成分的所有材料或分層系統(tǒng)進行具有高空間分辨率的材料表征和優(yōu)化。
   ? 檢查微觀結(jié)構(gòu)或分層的均勻性。
   ? 應(yīng)力分布成像。
   ? 確定任何基材上的金屬和/或鐵磁的頂層厚度。
   ? 確定鐵磁基材上非鐵磁頂層的厚度。
   ? 多層的表征。

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經(jīng)常測試的目標值：

?殘余應(yīng)力；
?硬度，硬度深度（近表面，例如滲氮層深度NHD）;
?分層厚度和多層特性；
?微觀結(jié)構(gòu)。

系統(tǒng)特點：

· 探頭和掃描儀的橫向分辨率：大約20μm，取決于材料。
· 掃描范圍10×10 mm²（按需可配更大的區(qū)域）。
· 每個測量位置的測量時間≤1 s。
· 取決于材料，分層厚度的測量范圍為5 nm至100μm。

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